1. Il sistema di vuoto: la pompa meccanica, la pompa a palette rotatoria, radici pompa, pompa molecolare, criogenica
pompa, con la trappola fredda sistema d'estrazione di velocità di pompaggio della pompa di diffusione dell'olio di alto vuoto di grande,
pulsometri senza olio facoltativi della pompa della protezione, tubi di acciaio inossidabile e valvole.
2. Il sistema ricoprente: adozione delle diversità del magnetron di frequenza intermedia che farfuglia potere
fornisca, con 1-2 dell'obiettivo squilibrato del magnetron ed è fornito dell'arco caldo del catodo 6-14 e
l'alimentazione elettrica dell'arco, sovrapposizione di CC ha pulsato l'alimentazione elettrica di polarizzazione, il livello principale internazionale di fonte dell'arco
e fonte di ione di strato dell'anodo; Fornito di 1-2 insiemi dell'originale ha importato la fonte scaricante.
3. Gonfiamento del sistema: flussometro a gas automatico e controllo dello strumento dell'esposizione di flusso.
4. Sistema di controllo: il touch screen di colore, il controllo automatico e manuale dello SpA, possono essere convertiti a c'è ne
tempo. La visualizzazione in tempo reale ha dettagliato i parametri, controllo completamente automatico di intero processo di produzione,
parametri trattati di stoccaggio automatico. Le componenti elettriche principali sono marche famose come
Schneider.
5. Sistema di sicurezza: installazione il suono e del dispositivo di allarme leggero dell'anomalia dell'acqua, di elettricità e del gas e
implementare le procedure corrispondenti di protezione.
6. Riscaldamento e sistema bollente: adotti il corpo del riscaldamento del tubo di acciaio inossidabile, la temperatura della base di appoggio può
raggiunga 300 gradi, il metro del controllo della temperatura adotta lo strumento conduttivo giapponese,
la precisione del controllo della temperatura è più o meno 1 grado Celsius.
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