3. Stanza del rivestimento di vuoto: la camera singola, la multi-stanza o orizzontali verticale scelgono, struttura della multi-camera
 
la selezione, materiale dell'acciaio inossidabile 304, l'efficace diametro della camera di vuoto è 800mm- 3500mm,
 
con la struttura di raffreddamento ad acqua, ecc.
 
 
4. Sistema di vuoto: la pompa meccanica, pompa a palette rotatoria, pianta la pompa, la pompa molecolare, bassa temperatura
 
pompi, pompa di diffusione dell'olio di alto vuoto con il pozzo freddo, pompa di diffusione dell'olio di alto vuoto, adotti l'acciaio inossidabile
 
tubo e valvola;
 
 
5. Sistema di rivestimento: 2 insiemi di 2-10 insiemi dell'obiettivo piano o dell'obiettivo della colonna, magnetron che farfuglia, DC+RF di CC
 
magnetron che farfuglia, rivestimento di HDAP.
 
 
6. Gonfiamento del sistema: 1-4 controllo del misuratore di portata del gas e dell'indicatore di flusso;