IN CIMA al magnetron di vuoto dell'Multi-arco dell'oro di Rosa dei gioielli che farfuglia la macchina di rivestimento

 
Magnetron di vuoto che farfuglia principio di funzionamento della macchina di rivestimento: la cosiddetta «spruzzata», gli elettroni dentro
 
un campo elettrico nell'ambito dell'azione di accelerazione del processo del volo al substrato con l'atomo dell'argon
 
collisione, ionizzazione fuori un gran numero di ioni dell'argon ed elettroni. L'elettrone vola verso il substrato,
 
lo ione dell'argon accelera il materiale di obiettivo nell'ambito dell'azione del campo elettrico, farfugliante fuori un grande
 
il numero dell'atomo dell'obiettivo e l'atomo neutrale dell'obiettivo (o molecola) è depositato sul substrato per formare
 
film. Elettrone secondario nell'accelerare da volare al substrato dal campo magnetico nel corso di lorentz
 
forza magnetica, l'influenza di area limitata vicino al plasma della superficie dell'obiettivo, la densità del plasma in
 
l'area è elettrone molto alto e secondario nell'ambito dell'azione del campo magnetico intorno alla superficie dell'obiettivo è
 
il moto circolare, il percorso di moto dell'elettrone è molto lungo, costantemente nel corso di movimento dell'impatto
 
ionizzazione fuori un gran numero di bombardamento dello ione dell'argon dell'obiettivo, dopo molte volte della collisione del
 
l'energia di elettrone si riduce gradualmente, fuso fuori il giogo delle linee del campo magnetico, a partire dall'obiettivo
 
materiale, il deposito finale sul substrato.
 

 
la camera, le valvole e la conduttura del rivestimento di vuoto 1.The sono rese della camera di vuoto dell'acciaio inossidabile efficace
 
diametro da Φ500 millimetro a Φ2000 millimetro.
 
 
2. Il sistema di vuoto consiste della pompa meccanica, pompa a palette rotatoria, le radici pompano e un livello del pozzo freddo
 
pompa di diffusione dell'olio di vuoto o pompa molecolare;
 
 
3. Il sistema di rivestimento adotta l'obiettivo piano multiplo o l'obiettivo cilindrico, con corrente continua multipla o il medium
 
alimentazione elettrica di frequenza.
 
 
4. Il sistema di pompaggio ausiliario adotta una trappola a bassa temperatura del vapore acqueo;
 
 
5. Il controllo di controllo del misuratore di portata e di flusso del gas (esposizione) del sistema pneumatico è adottato.
 
 
6. Il sistema di controllo elettrico installerà il sovraccarico del circuito, la rottura dell'acqua ed il dispositivo di allarme sano del
 
aria rotta;
 
 
7. Il sistema di controllo (touch screen + SpA), visualizza i parametri dettagliati nel controllo in tempo reale e completamente automatico di
 
l'intero processo di produzione e stoccaggio automatico dei parametri trattati.
 
 
8. L'attrezzatura è fornita del sistema di polarizzazione di alto potere e del deposito di ionizzazione dell'aiutante di fonte
 
ricoprire;
 
 

 
1. L'alta energia emessa farfugliando ha migliorato significativamente la densità e l'adesione della membrana.
 
 
2. La struttura del pezzo in lavorazione adotta la struttura pubblica di rotazione, che può mettere il positivo automatico e
 
la rotazione a rovescio ed il prodotto è anche buoni.
 
 
3. Configurazione ragionevole, tasso di pompaggio rapido, consumo di energia a basso rumore e basso.
 
 
4. Lo strato del film depositato da questa attrezzatura può soddisfare le richieste del cliente in termini di densità,
 
uniformità, purezza e durezza.
 
 
5. Il touch screen +PLC può raggiungere commutazione automatica/manuale completa di controllo automatico.