La macchina è di consistere della camera di vuoto, il sistema di pompaggio di vuoto, l'alimentazione elettrica diagonale, sistema di rivestimento,
 
sistema girante del pezzo in lavorazione, sistema di raffreddamento e sistema di controllo elettrico.
 
 

(1). Alimentazione elettrica: trifase a cinque vie, 380V±5%, 50Hz, con resistenza al suolo<5>

(2). Aria compressa: 0.5~0.7Mpa.

(3). L'acqua di raffreddamento può usare l'acqua di rubinetto di città, l'acqua deionizzata è la cosa migliore. La temperatura di acqua di raffreddamento dovrebbe

la pressione di acqua di meno di 25 °C. dovrebbe essere 0.2Mpa a 0.4Mpa. E la risorsa idrica dovrebbe avere

capacità di aggiungere nuova acqua nel tasso più di cento litri al minuto.

(4). Condizione ambientale: Il pavimento, il soffitto e le pareti dovrebbero essere puliti. L'aria dell'interno dovrebbe essere pulita, asciutta e

NO--polvere. Nessun gas infiammabile, esplosivo e corrosivo all'interno.

(5). Aria ricoprente: Ar2, C2H2, N2, O2, elevata purezza (≥99.99%).